レーザ照射装置及び表面処理方法

登録番号

特許第6602007号

登録日

2019年10月18日

共有者

株式会社トヨコー

技術概要

【課題】液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理をおこなう際の処理能力を向上したレーザ照射装置等を提供する。【解決手段】レーザ光を収束させて液体中の照射対象物に照射する照射用光学系を備えるレーザ照射装置を、照射用光学系は、照射対象物に隣接して配置された最対物側光学素子323における照射対象物側の面部が液体中に配置された状態でレーザ光の照射をおこなうとともに、最対物側光学素子の照射対象物側とは反対の面部及び他の光学素子は、液体の浸入が実質的に防止されたハウジング内に収容され、最対物側光学素子の外周縁部近傍に設けられ照射対象物側の面部にほぼ沿って液体流を吐出する液体吐出手段440と、最対物側光学素子の外周縁部近傍において液体吐出手段に対して対物側光学素子の中央部を挟んだ反対側に設けられ対物側光学素子の照射対象物側の面部にほぼ沿って流れる液体流を吸入する液体吸入手段450とを備える構成とする。

図

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