フッ素含有化合物の分解処理装置及び分解処理方法

登録番号

特許第6050093号

登録日

2016年12月2日

共有者

岩谷産業株式会社

技術概要

【課題】フッ素含有化合物の分解処理装置及び分解処理方法に係り、反応ゾーンにおける被処理ガスの流通方向の中間域から被処理ガスを抽出してフッ素ガスを検出することにより、反応ゾーンにおける分解剤の破過を検出して、汎用のフッ素ガス検出器を用いて破過した分解剤の交換ができるようにした。【解決手段】反応筒内における被処理ガスの流通方向に沿って上流側に反応ゾーンを、下流側に吸着ゾーンを形成して、反応ゾーンにおける被処理ガスの流通方向の中間域から被処理ガスを抽出してフッ素ガスを検出することにより。反応ゾーンにおける被処理ガスの抽出個所よりも上流側の分解剤の破過を検出して、間欠的または連続的に新たな分解剤を充填するとともに破過した分解剤を排出するようにしたから、汎用の安価なフッ素ガス検出器を用いて分解剤の破過を的確に監視して破過した分解剤の交換をおこなうことができるのである。

図

提供方法

共有者様の製品、特許の利用

詳細説明

なし